罗茨滑阀真空机组由罗茨真空泵与滑阀真空泵串联组成，滑阀真空泵作为预抽真空泵以及罗茨泵的前级真空泵使用，罗茨真空泵作为主抽真空泵。罗茨真空泵与滑阀真空泵抽速比大小选择的主要依据是机组中工作时间较长的真空泵，如果该泵长期工作在低真空区间，宜选择较小的抽速比（2:1或4:1），如果该泵长期工作在中高真空区间，则可选择较大的抽速比（4:1或10:1）。

特点：

1.真空度高，中高真空区间抽气速率高，工作范围宽，节能效果显著；

2.一体化机组，结构紧凑，占地面积小；

3.自动化程度高，操作简单，维护方便，运行安全，可靠耐用。

适用范围：

广泛应用于真空镀膜、真空冶炼、真空热处理、真空干燥、真空浸渍、真空滤油、多晶硅生产、航空航天模拟实验等领域。